A nikkel{0}}kobalt-vasötvözetek porlasztó célpontjai meghatározott arányban tartalmaznak nikkelt (Ni), kobaltot (Co) és vasat (Fe). Ezekből az ötvözetekből sík vagy forgó porlasztó célpontokat készítenek, és a félvezető-, a fotovoltaikus-, a precíziós optika- és a funkcionális bevonat-iparban használják. Ezen ötvözetek előállítása specifikus, és a részletekre való odafigyelést igényel az egyenletes kémiai összetétel, a szilárd halmazállapotú-sűrűség, az egyenletes szemcsézettség és a felületek minősége elérése érdekében.
Nikkel{0}}kobalt-vasötvözet porlasztásos célpontjainak előkészítési módja
Nyersanyag olvasztás: A nagy tisztaságú nikkel-, kobalt- és vastömböket arányosan elosztjuk és a vákuum-indukciós olvasztókemencébe helyezzük. Az anyagokat vákuumban addig melegítjük, amíg teljesen megolvadnak, és keverjük, hogy megakadályozzuk a kompozíció szétválását.
Öntés és alakítás: Az olvadt nikkel-kobalt-vas ötvözetet grafitformába öntik, és lehűtik annak érdekében, hogy ötvöző tuskót kapjanak, és megakadályozzák a durva szemcsék képződését.
Kovácsolás és hengerlés: Az ötvözeteket magas hőmérsékletű-kovácsolási és meleghengerlési folyamatoknak vetik alá, hogy lebontsák az öntvényszerkezetet.
Megmunkálás és ragasztás: A nikkel-kobalt-vasötvözet anyagát formára vágják- és szintetizálják.
A nikkel{0}}kobalt-vasötvözet porlasztó célpontjai
Integrált áramkörök, ahol Cu diffúziós gátrétegekhez, Ta/CoFe kétrétegű elektródákhoz és mágneses alagút-csatlakozások (MTJ) mentes rétegekhez használják.
Vékony-Film napelemek, ahol hátsó elektródaként vagy pufferrétegként szolgál az ohmos érintkezés és az időjárásállóság fokozása érdekében.
MEMS és érzékelők, ahol kis{0}}veszteségű induktorok, mágneses árnyékoló rétegek és mikro-mágneses működtetők gyártásához használják.
Felületi funkcionális bevonatok, ahol kopásálló,
